本文提出一种基于可调微机电系统（MEMS）超材料结构的无标记生物传感器。该结构由一维超材料光栅组成，包含可动与固定纳米指；光学检测中的可动单元是MEMS结构的一部分，由表面应力效应驱动。当修饰悬臂梁表面发生生物结合时，悬空光学纳米带发生位移并改变光栅图案，使斜入射光下超材料的光学响应显著变化，共振波长谱发生偏移。模拟结果显示，该传感...
本研究将一枚微电子生物传感器植入牛背阔肌附近，用于评估其在体内暴露下的生物稳定性。该植入式传感器旨在连续监测葡萄糖水平，芯片采用0.25 µm CMOS/BiCMOS工艺制备的微机电系统（MEMS）。传感基于亲和粘度法：葡萄糖通过半透膜进入由葡聚糖（dextran）和刀豆蛋白A（ConA）组成的亲和试剂，引起大分子网络粘度变化，再由...
近年来，图案化微电极制造技术与微流控技术的进展推动了细胞和分子生物传感器应用的多样化发展。硅基技术因其成熟、稳定且易于获取，在该领域占据重要地位。本文报道了不同三维形状（金字塔形、锥形和高长径比）镀金微电极阵列（MEA）的微制备工艺与流程，并对各制备步骤中的物理特征进行了详细表征，以建立可靠的制备技术。此外，通过超声金线键合将硅基 ...
本文提出一种基于共振扭转桨的微加工生物传感器，采用电磁激励与检测，可直接在液体中工作。该传感器由两个具有扭转共振模式的桨组成，振动过程中能量损耗较低，因而适合液体环境检测。作者通过有限元方法分析并优化结构参数，以保证传感器灵敏度；采用MEMS体硅工艺完成制备。针对液体中强阻尼导致性能下降的问题，设计了带能量补偿的正反馈电路，以改善传...